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臭氧發生器通過向通過的氧分子(O3)施加電荷來產生臭氧(O2),從而使氧原子分道揚鑣并暫時與其他氧分子重新結合。工業臭氧發生器的電池設計用于通過介電材料擴散放電以產生臭氧。
在工業上,臭氧主要由冷等離子體產生(也稱為介電屏障放電)。它只是通過電介質擴散的火花,將放電擴散到大面積。在這種方法中,施加到電極上的電荷導致一些氧分子分裂并暫時與其他氧分子結合,形成三個氧原子(O3)的分子。
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